云南PECVD管式炉厂家** ** 深圳市迪斯普设备供应

高温炉的注意事项除了做实验外，不要停留在高温炉管区。 实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2流动，并查看是否有其它电源该关而没有关、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。 处理HF时，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。 石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。 避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。 氰化钾(KCN)不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之KCN气体，云南PECVD管式炉厂家**。 一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员(技术员等)。 请节约纯水用量。 破晶片、滤纸、棉花棒，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。 长短推杆之前端，在还没使用到时，云南PECVD管式炉厂家**，云南PECVD管式炉厂家**，请朝上以免污染。 晶片进出炉口时，请勿碰触炉管口，以免污染炉管。炉管采用99高纯刚玉管、两端采用SUS304高真空法兰密封。云南PECVD管式炉厂家**

真空管式炉主要运用于冶金，玻璃，热处理，锂电正负极材料，新能源，磨具等行业，测定材料在一定气温条件下的**设备。炉型结构简单，操作容易，便于控制，能连续生产。 　　真空管式炉具有的性能设计，集多项于一身，安全性，**性，实用性均达效果，下面我们来看看它的结构特点： 　　1、炉体采用双层炉壳结构，双层炉壳之间装有风机，可以**升降温，炉壳表面温度低。 　　2、真空度可以达到10Pa。 　　3、真空管式炉炉膛材料采用的进口氧化铝多晶纤维真空吸附制成，节能50%，加热炉膛为一体化，方便取放实验物料、更换炉管。加热元件采用硅钼棒。 　　4、炉管采用99高纯刚玉管、两端采用SUS304高真空法兰密封。 　　5、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、模糊控制、自整定能力并可编制各种升温程序等功能，该控制系统温度显示精度为±1℃，温场稳定度±5℃，升温速率1~20℃可任意设置。云南PECVD管式炉厂家**马弗炉煤质分析用于测定水分、灰分、挥发分、灰熔点分析、灰成分分析、元素分析。

PECVD管式炉的使用注意事项： 炉管内气压不可**0.02MPa。 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上**安装减压阀，建议选购减压阀，使用时会更加安全。 当炉体温度**1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 石英管的长时间使用温度＜1100℃。 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，**立刻打开泄气阀，以防意外发生。

PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN 淀积在硅片表面形成减反射膜。 　　利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。 　　反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。炉子的炉温不得**过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。

炉膛内结构箱式炉的炉门装置包括炉门及锁定保护装置，要求炉门装置应该密封良好，减少热损。炉门一般用铸铁或钢板制成，在炉门开启装置上安装有安全限位开关，并与加热控制电源关联，炉门开启时切断控制电源，以便保护操作者的安全。为了便于观察炉腔内的加热情况，在炉门*通常设计有观察孔。这样方便对箱式炉的工作有个很好的监控。箱式炉采用热电偶测量温度，小型箱式炉用一只热电偶，大中型箱式炉用多只热电偶，直接插入炉腔，以便监测炉腔内不同点的温度。通常情况下，温度小于1000℃是使用镍铬-镍硅（分度号K）的热电偶，大于1000℃使用铂铑10-铂（分度号S）的热电偶。 　箱式炉的炉膛内结构就是这几种部分，在操作时我们只要了解了他的属性，然后根据工艺要求进行操作，才能**箱式电炉在生产工艺中的正常使用。立式真空炉一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。内蒙古立式炉厂家**

CVD管式炉冷炉使用时，由于管式炉膛是冷的，须大量吸热。云南PECVD管式炉厂家**

多温区管式炉用途：耐火材料、电子、陶瓷、冶金、机器、建材、特种材料、新材料开发等领域的试验和生产。 特性： 1.外观新颖 2.炉膛材料全部采用高纯氧化铝纤维制作而成（节能效果是老式电炉的80%以上） 3.精度（控温精度：±1℃ 恒温精度：±1℃） 5.保温性能（在保温时功率不到总功率的30%） 6.控制（微电脑控制，可编程序40段曲线，全自动升温/降温） 7.工作环境（抗干扰、1400℃时外壳温度≤45℃提高了工作环境） 8.高温管两侧 9.多区温度独立控制，可实现在同一炉管内，得到不同的温度热场，实现多种温度梯度，应对特殊实验需求 10.多控温仪表独立控制 11.多热电偶温度感测 12.炉管内可加多种气体 13.炉管可抽真空，真空度：0.01至-0.1（MPa） 14.炉管两侧用不锈钢金属封头、石英封头密封，操作简单（手动调节），效果云南PECVD管式炉厂家**

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