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PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN 淀积在硅片表面形成减反射膜。 　　利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，东莞真空箱式炉特价，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，东莞真空箱式炉特价，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。 　　反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，东莞真空箱式炉特价，达到表面钝化和体钝化的目的。真空管式炉使用后，速度调节旋钮应旋转回“0”，然后停止。东莞真空箱式炉特价

马弗炉的注意事项 1.使用时炉门要轻关轻开，以防损坏机件。坩埚钳放取样品时要轻拿轻放，以**安全和避免损坏炉膛。 2.温度**过600度后不要打开炉门。等炉膛内温度自然冷却后再打开炉门。 3.实验完毕后，样品退出加热并关掉电源，在炉膛内放取样品时，应先微开炉门，待样品稍冷却后再小心夹取样品，防止烫伤。 4.加热后的坩埚宜转移到干燥器中冷却，放置缓冲耐火材料上，防止吸潮炸，裂，后称量。 搬运马弗炉时，注意避免严重共振，放置远离易燃易爆、水等物品。严禁抬炉门，避免炉门损坏。佛山马氟炉特价立式炉升温快、高节能、**、高稳定性、保温性能好。

管式炉的使用规范和注意事项有哪些一.管式炉具有抗干扰能力强，控制精度高，冲温值小的特点 二.与立式炉相比智能控制仪，管式炉仪表采用模块化结构，EMI克制技术模糊PID调节，具有抗干扰能力强，控制精度高，冲温值小。 三.双四位LED数码显示，加热功率光柱显示。 四.管式炉具有手动＼自动无干扰切换控制参数自整定功能，而箱式电炉却没有这种功能。可编程满足10个时段连续控温和恒温的要求，实现定时自动升温和恒温。 五.真空系统采用特种密封技术，真空度大，空气泄露小，真空度达0.1MPa。充分体现**、准确、随意、人性化设计。

电炉使用时应注意以下哪些问题1、测炉温均匀性时，应注意测温触点的定位捆绑方式，以及离加热元件的远近。炉内经常(至少每月)用毛刷、扫帚或压缩空气、吸尘器等清洁炉膛和搁砖，要防止炉内氧化皮等杂质掉在电热元件上，发生短路，甚至烧坏搁砖。底板、坩埚、炉罐等耐热钢构件每使用一段时间，较好吊起敲击，清理其氧化皮。氧化铁皮等杂质如不及时清理，就会熔融与耐火砖发生反应，使炉丝熔化。 2、炉子升温后，不能长时间开启炉门。当温度**400℃时，不得急剧冷却。对于电热元件在温度高、冷热变化大情况下，容易引起氧化掉皮。对于钼加热炉，EI常使用维护中注意应冷却至200℃以下方可停送保护气。 3、引出棒与线夹子应接触良好，引出棒与夹子接触而应光滑。引出棒不能有发红现象，供电时线夹子的升温较高不**过60℃。注意由于升温停炉时的热胀冷缩以及蠕变伸长等，引出棒接线夹子的螺栓容易发生氧化松动，形成虚接短路，要定期检查拧紧。炉子升温后，不能长时间开启炉门。

马弗炉（Muffle furnace），Muffle是包裹的意思，furnace是炉子，熔炉的意思。马弗炉在中国的通用叫法有以下几种：电炉、电阻炉、茂福炉、马福炉。马弗炉是一种通用的加热设备，依据外观形状可分为箱式炉、管式炉、坩埚炉。应用范围编辑 （1）热加工、工业工件处理、水泥、建材行业,进行小型工件的热加工或处理。 （2）医药行业：用于药品的检验、医学样品的预处理等。 （3）分析化学行业：作为水质分析、环境分析等领域的样品处理。也可以用来进行石油及其分析。 （4）煤质分析：用于测定水分、灰分、挥发分、灰熔点分析、灰成分分析、元素分析。也可以作为通用灰化炉使用。PECVD管式炉当炉体温度**1000℃时，炉管内不可处于真空状态。广州管式炉用途

马弗炉使用时炉膛温度不得**过较高炉温，也不得在额定温度下长时间工作。东莞真空箱式炉特价

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