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PECVD管式炉的具体工艺流程？硅烷与氨气反应生成SiN淀积在硅片表面形成减反射膜。利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。由于等离子体存在，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，促进反应活性基团的生成，从而降低沉积温度。PECVD在200℃～500℃范围内成膜，远小于其它CVD在700℃～950℃范围内成膜。反应过程中有大量的氢离子注入到硅片中，浙江真空箱式炉***，浙江真空箱式炉***，浙江真空箱式炉***，使硅片中悬挂键饱和、缺陷失去活性，达到表面钝化和体钝化的目的。箱式炉工作时入箱式炉的工件应不**过炉底板.大载荷量，装卸工件时应确保电源断开的情况下进行。浙江真空箱式炉***

箱式气氛炉应用于适合各类大专院校实验室、工矿企业化验室，供化学分析、物理测定，以及金属、陶瓷的烧结和熔解、小型钢件等加热、焙烧、烘干、热处理用。 箱式气氛炉操作规程注意事项: 1.使用时切勿**过箱式气氛炉的较高温度； 2.装取试样时一定要切断电源，以防触电； 3.禁止向炉膛内灌注任何液体； 4.不得将沾有水和油的试样放入炉膛；不得用沾有水和油的夹子装取试样； 5.装取试样时要戴**手套，以防烫伤； 6.试样应放在炉膛中间，整齐放好，切勿乱放； 7.不得随便触摸电炉及周围的试样； 8.使用完毕后应切断电源、水源； 9.未经管理人员许可，不得操作箱式气氛炉，严格按照设备的操作规程进行操作。广州箱式气氛炉***箱式气氛炉电气部分采用与炉体一体化结构，整个电气元件安装在炉体底部的一侧，结构紧凑、占用空间小。

    多温区管式炉的保养：一、炉子使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要**过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。二、炉膛若采用刚玉炉管，依据刚玉材料的物理性质，各温区的升﹑降温速率不宜过快（≤5℃），严禁在炉管100℃以上取送物料。有利于炉管的热应力的均匀释放，以延长炉管的使用寿命。炉膛若采用石英管，当温度**1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是石英管的一个固有缺陷，属正常现象。三、管式炉在气氛条件下使用，气体在高温下会膨胀，导致管内压力变大，使用者应及时开启针阀，排出气体。           

    箱式炉的安全操作：1、清理炉内铁屑，清扫炉底板，以免铁屑落于电阻丝上造成短路损坏。2、入箱式炉的工件应不**过炉底板.大载荷量，装卸工件时应确保电源断开的情况下进行。3、汪意检查热电偶安装位置。热电偶插入炉内后，应**不与工件相碰。4、根据工件的图纸要求，试验箱式炉，确定合理的工艺范围。按时升温，**出炉操作，经常检查仪表温度并进行校准，防止误操作。5、为**炉温，不能随便打开箱式炉炉门，检查炉内情况应从炉门孔中观察。6、冷却剂应放置于就近方便的位置，减少工件出炉后降温。7、出炉时应工位正确，夹持稳固，防止炽热工件伤害人体。8、箱式炉检修后，**按规定进行烘烤，并检查炉堂及**部保温粉是否填满，接地是否与炉壳紧固。 立式炉升温快、高节能、**、高稳定性、保温性能好。

管式炉的使用规范和注意事项有哪些一.管式炉具有抗干扰能力强，控制精度高，冲温值小的特点 二.与立式炉相比智能控制仪，管式炉仪表采用模块化结构，EMI克制技术模糊PID调节，具有抗干扰能力强，控制精度高，冲温值小。 三.双四位LED数码显示，加热功率光柱显示。 四.管式炉具有手动＼自动无干扰切换控制参数自整定功能，而箱式电炉却没有这种功能。可编程满足10个时段连续控温和恒温的要求，实现定时自动升温和恒温。 五.真空系统采用特种密封技术，真空度大，空气泄露小，真空度达0.1MPa。充分体现**、准确、随意、人性化设计。炉管采用99高纯刚玉管、两端采用SUS304高真空法兰密封。深圳立式炉参考价

马弗炉热加工、工业工件处理、水泥、建材行业,进行小型工件的热加工或处理。浙江真空箱式炉***

多温区管式炉用途：耐火材料、电子、陶瓷、冶金、机器、建材、特种材料、新材料开发等领域的试验和生产。 特性： 1.外观新颖 2.炉膛材料全部采用高纯氧化铝纤维制作而成（节能效果是老式电炉的80%以上） 3.精度（控温精度：±1℃ 恒温精度：±1℃） 5.保温性能（在保温时功率不到总功率的30%） 6.控制（微电脑控制，可编程序40段曲线，全自动升温/降温） 7.工作环境（抗干扰、1400℃时外壳温度≤45℃提高了工作环境） 8.高温管两侧 9.多区温度独立控制，可实现在同一炉管内，得到不同的温度热场，实现多种温度梯度，应对特殊实验需求 10.多控温仪表独立控制 11.多热电偶温度感测 12.炉管内可加多种气体 13.炉管可抽真空，真空度：0.01至-0.1（MPa） 14.炉管两侧用不锈钢金属封头、石英封头密封，操作简单（手动调节），效果浙江真空箱式炉***

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