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PECVD管式炉的主要特点： 1.气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好； 2.AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控，协调控制——科探AIO控制系统； 3，黑龙江箱式炉参考价.管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。 4.智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力； 5.射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，自动运行； 6.炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离； 7，黑龙江箱式炉参考价.整机结构融为一体——移动方便，黑龙江箱式炉参考价，避免分散组装的困扰。炉子初次使用或长时间不用后，要在 120℃左右烘烤 1 小时，在 300℃左右烘烤 2 小时后使用。黑龙江箱式炉参考价

仪表的内部参数不要乱改，以防电炉不能正常运行。 炉门轻关轻拉。 1、炉子初次使用或长时间不用后，要在 120℃左右烘烤 1 小时，在 300℃左右烘烤 2 小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温不得**过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。 2、禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。 3、炉体若采用硅钼棒做加热元件，依据硅钼棒的物理特性，常温下脆性很大，因此在加热元件安装好后不能随意拆装和搬动炉体。 4、冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉膛。 5、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。 6、硅钼棒作为加热元件时不宜在 400-700℃温度段长时间运行，否则硅钼棒将发生低温氧化。 汕尾CVD管式炉高校实验室**电炉对温度的调节不需过快，应逐档调节，以免电流过大烧坏碳棒及其它电气器件。

CVD管式炉使用注意事项： 　　1. 冷炉使用时，由于管式炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。 　　2. 定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。 　　3.CVD管式炉使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要**过额定温度，以免损坏加热元件 及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。 　　4. 炉膛若采用石英管，当温度**1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。

当马弗炉一次使用或长期停用后再次使用时，**进行烘炉干燥：在20～200℃打开炉门烘2-3h，200～600℃关门烘2-3h。 实验前，温控器应避免震动，放置位置与电炉不宜太近，防止过热使电子元件不能正常工作。搬动温控器时应将电源开关置“关”。 使用前，将温控器调至所需工作温度，打开启动编码使马弗炉通电，此时电流表有读数产生，温控表实测温度值逐渐上升，表示马弗炉、温控器均在正常工作。 (一)工作环境要求无易燃易爆物品和腐蚀性气体，禁止向炉膛内直接灌注各种液体及熔解金属，经常保持炉膛内的清洁。 (二)使用时炉膛温度不得**过较高炉温，也不得在额定温度下长时间工作。实验过程中，使用人不得离开，随时注意温度的变化，如发现异常情况，应立即断电，并由**维修人员检修。箱式气氛炉节能型的陶瓷纤维材料和双层外壳结构，具有升降温速度快，能耗低。

多温区管式炉的保养： 一、炉子使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要**过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。 二、炉膛若采用刚玉炉管，依据刚玉材料的物理性质，各温区的升﹑降温速率不宜过快（≤5℃），严禁在炉管100℃以上取送物料。有利于炉管的热应力的均匀释放，以延长炉管的使用寿命。炉膛若采用石英管，当温度**1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是石英管的一个固有缺陷，属正常现象。 三、管式炉在气氛条件下使用，气体在高温下会膨胀，导致管内压力变大，使用者应及时开启针阀，排出气体。管内安全压力建议值：-0.05MPa至马弗炉一次使用或长期停用后再次使用时，**进行烘炉干燥。黑龙江箱式炉参考价

真空管式炉主要运用于冶金，玻璃，热处理，锂电正负极材料，新能源，磨具等行业。黑龙江箱式炉参考价

箱式气氛炉 应用范围 箱式气氛炉应用于适合各类大专院校实验室、工矿企业化验室，供化学分析、物理测定，以及金属、陶瓷的烧结和熔解、小型钢件等加热、焙烧、烘干、热处理用。炉体部分 编辑 炉膛采用莫来石聚轻砖砌筑，炉膛内上下用碳化硅棚板，炉内温度是加热元件在加热过程中经过碳化硅棚板传导（暗火加热），温度更均匀。炉壳密封。为提高密封垫的使用寿命在炉门口设有循环水冷套以降低密封处的温度。进气设炉膛底部，经加热腔预热后分多处进入炉内，排气经炉**后部排出。**炉内气氛均匀，减小炉内温差。气路上装有气体流量计，用于正常使用控制气氛流量。黑龙江箱式炉参考价

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